Ders Adı | Kodu | Yerel Kredi | AKTS | Ders (saat/hafta) | Uygulama (saat/hafta) | Laboratuar (saat/hafta) |
---|---|---|---|---|---|---|
Yarıiletken Teknolojisi | EHM6107 | 3 | 7.5 | 3 | 0 | 0 |
Önkoşullar | Yok |
---|
Yarıyıl | Bahar |
---|
Dersin Dili | Türkçe |
---|---|
Dersin Seviyesi | Yüksek Lisans |
Dersin Türü | Seçmeli @ Elektr.&Hab. Müh. ABD Elektronik Doktora Programı Seçmeli @ Elektr.&Hab. Müh. ABD Elektronik Yüksek Lisans Programı |
Ders Kategorisi | |
Dersin Veriliş Şekli |
Dersi Sunan Akademik Birim | Elektronik & Haberleşme Mühendisliği Bölümü |
---|---|
Dersin Koordinatörü | |
Dersi Veren(ler) | |
Asistan(lar)ı |
Dersin Amacı | Dersin amacı yarıiletken teknolojisindeki temel süreçleri öğretmektir. |
---|---|
Dersin İçeriği | Yarı iletkenlerin sınıflandırılması / Element ve bileşik yarı iletkenlerin kristal yapıları / Miller indisleri / Si ve GaAs kristallerinin üretimi, kristallerin arındırılması ve monokristal üretimi / Silisyum ve GaAs kristallerinde sıvı ve gaz fazdan epitaksiyal büyütme; difüzyon, iyon ekme, oksidasyon süreçleri / Bipolar ve Mos teknolojisinde temel süreçler; |
Ders Kitabı / Malzemesi / Önerilen Kaynaklar |
|
Opsiyonel Program Bileşenleri | Yok |
Ders Öğrenim Çıktıları
- Öğrencilerin yarıiletken devre elemanlarının üretimi konusunda bilgilendirilmesi
- Öğrenciler CMOS ve bipolar temelli modern devre teknolojisinin öğreneceklerdir.
- Öğrencilerin yarıiletken devre elemanlarının kullanım alanları konusunda bilgilendirilmesi
- Öğrencilerin mikro ve nano sistem teknolojileri ile ilgili gelişmiş bilgiye sahip olmalarını sağlamak
- Öğrencilerin micro/nano fabrikasyon konusunda bilgi sahibi olmalarını sağlamak
Ders Öğrenim Çıktısı & Program Çıktısı Matrisi
DÖÇ-1 | DÖÇ-2 | DÖÇ-3 | DÖÇ-4 | DÖÇ-5 | |
PÇ-1 | - | - | - | - | - |
PÇ-2 | - | - | - | - | - |
PÇ-3 | - | - | - | - | - |
PÇ-4 | - | - | - | - | - |
PÇ-5 | - | - | - | - | - |
PÇ-6 | - | - | - | - | - |
PÇ-7 | - | - | - | - | - |
PÇ-8 | - | - | - | - | - |
PÇ-9 | - | - | - | - | - |
PÇ-10 | - | - | - | - | - |
PÇ-11 | - | - | - | - | - |
PÇ-12 | - | - | - | - | - |
Haftalık Konular ve İlgili Ön Hazırlık Çalışmaları
Hafta | Konular | Ön Hazırlık |
---|---|---|
1 | Yarı iletkenlerin sınıflandırılması | Ders Kitabı |
2 | Element ve bileşik yarı iletkenlerin kristal yapıları, miller indisleri | Ders Kitabı |
3 | Si ve GaAs kristallerinin üretimi, kristallerin arındırılması ve monokristal üretimi | Ders Kitabı |
4 | Silisyum ve GaAs kristallerinde sıvı ve gaz fazdan epitaksiyal büyütme | Ders Kitabı |
5 | difüzyon | Ders Kitabı |
6 | iyon ekme | Ders Kitabı |
7 | oksidasyon süreçleri | Ders Kitabı |
8 | Ara Sınav 1 | |
9 | Litografi | Ders Kitabı |
10 | Bipolar ve Mos teknolojisinde temel süreçler | Ders Kitabı |
11 | Polisilisyum tabakalar ve uygulama alanları | Ders Kitabı |
12 | Silisyumnitrit tabakaları ve uygulama alanları | Ders Kitabı |
13 | Silisit tabakaların oluşturulması ve uygulama alanları | Ders Kitabı |
14 | Metalizasyon | Ders Kitabı |
15 | Devre elemanı üretim teknikleri için örnek süreçler | Ders Kitabı |
16 | Final |
Değerlendirme Sistemi
Etkinlikler | Sayı | Katkı Payı |
---|---|---|
Devam/Katılım | ||
Laboratuar | ||
Uygulama | ||
Arazi Çalışması | ||
Derse Özgü Staj | ||
Küçük Sınavlar/Stüdyo Kritiği | ||
Ödev | 1 | 30 |
Sunum/Jüri | ||
Projeler | ||
Seminer/Workshop | ||
Ara Sınavlar | 1 | 30 |
Final | 1 | 40 |
Dönem İçi Çalışmaların Başarı Notuna Katkısı | ||
Final Sınavının Başarı Notuna Katkısı | ||
TOPLAM | 100 |
AKTS İşyükü Tablosu
Etkinlikler | Sayı | Süresi (Saat) | Toplam İşyükü |
---|---|---|---|
Ders Saati | 15 | 3 | |
Laboratuar | |||
Uygulama | |||
Arazi Çalışması | |||
Sınıf Dışı Ders Çalışması | 14 | 5 | |
Derse Özgü Staj | |||
Ödev | 1 | 30 | |
Küçük Sınavlar/Stüdyo Kritiği | |||
Projeler | |||
Sunum / Seminer | 14 | 5 | |
Ara Sınavlar (Sınav Süresi + Sınav Hazırlık Süresi) | 1 | 2 | |
Final (Sınav Süresi + Sınav Hazırlık Süresi) | 1 | 2 | |
Toplam İşyükü : | |||
Toplam İşyükü / 30(s) : | |||
AKTS Kredisi : |
Diğer Notlar | Yok |
---|